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Reflektivität in voller Bandbreite

Twyman-Green Interferometer mit 0.01µm Genauigkeit

Das Interferometer µPhase basiert auf dem Twyman-Green-Prinzip und vermisst hochpräzise Abweichungen in Planität und Sphärizität, mit einer Genauigkeit bis zu 0.01µm. Die berührungsfreie Messung und Auswertung erfolgt dabei großflächig innerhalb von Sekunden.

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Die Interferometer ?Phase 3.3 erlauben es verspiegelte Oberflächen mit 100 Prozent Reflektivität mit derselben Genauigkeit zu messen, wie vergütete Oberflächen mit 0,2 Prozent.

Dabei wird ein HeNe-Laserstrahl per Faser in das faustgroße Basismodul geführt und intern auf 5mm kollimiert. Der Strahl kann durch verschiedene Optiken auf Messdurchmesser von 2 bis 150mm geformt werden. Durch weitere Zusatzoptiken lassen sich Durchmesser von 200 und 300mm realisieren. Für sphärische bzw.

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Bild 2 | Prinzipieller Aufbau der Interferometer µPhase, die auf dem Twyman-Green Prinzip basieren.

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kugelförmige Flächen sind Objektive verfügbar, die einen großen Radien- und Durchmesserbereich abdecken. Für überproportional große Flächen sind Step- und Repeat-Messungen möglich, die durch eine Stitching-Software zusammengefügt werden. Die ebene oder sphärische Prüfwellenfront wird von der zu untersuchenden Oberfläche zurückreflektiert. Dazu muss die zu prüfende Oberfläche spiegelnd sein, wie z.B. eine polierte (Glas-/Kunststoff-)Oberfläche, diamant-gedrehte oder Metalloberflächen. Die durch die Oberflächenabweichungen deformierte Wellenfront wird intern im Basismodul mit einer Referenzwellenfront überlagert. Die dadurch entstehenden Interferenzen werden von einer Kamera aufgenommen und mit der Mess- und Analysesoftware µShape ausgewertet. Die Messergebnisse können numerisch und graphisch angezeigt sowie gespeichert werden. Die Ausgabe ist entsprechend der optischen DIN/ISO-Normen integriert. Es ist ein Standardmessprotokoll vordefiniert, dessen kundenspezifische Anpassung auf die jeweilige Anwendung möglich ist. Zur Grundausstattung gehören justagefehlerkompensierende Radienmessung und die Messung von transparenten Prüflingen in doppelter Transmission. Windows 10 wird mit der überarbeiteten µShape 7.0 ebenfalls unterstützt. Es gibt unterschiedlichste Module, z.B. für Asphärenmessungen oder ein External Interface zur Integration der Software in (automatisierten) Messsysteme. Als Generic Package wird die Software zudem als Third-Party Software auch zur Digitalisierung von Fremdinterferometern angeboten und vielfach eingesetzt.

TRIOPTICS GmbH

Dieser Artikel erschien in inVISION 3 2017 - 06.06.17.
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