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Strahlprofil- messung

Bild: MKS InstrumentsBild: MKS Instruments

Die Ophir Spiricon SP920G Kamera mit GigE-Anschluss nutzt die BeamGage Software zur Auswertung der Messungen. In der Regel befindet sich dazu ein PC oder Laptop in der Nähe des Sensors, der über eine USB-Schnittstelle angesprochen wird. Die jetzt integrierte GigE-Schnittstelle erweitert den Einsatzradius der Kamera auf bis zu 100m. Die Kamera misst Wellenlängen zwischen 190 und 1.100nm und eignet sich für Strahldurchmesser von 44µm bis 5,3mm. Sowohl gleichförmige als auch gepulste Strahlen lassen sich mit der Siliziumkamera messen.

MKS Instruments

Dieser Artikel erschien in inVISION 4 2018 - 13.09.18.
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