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Kompakter Mapping-Sensor

Auf engstem Raum

Sensoren mit hoher optischer Leistung auf kleinstem Raum sind immer wieder dort gefragt, wo Einbauräume knapp und das Gewicht auf ein Minimum zu reduzieren ist. Ausführungen mit besonders miniaturisierter Bauform sind hier häufig das Mittel der Wahl. Doch auch sie stoßen mittlerweile hinsichtlich Baugröße und Leistungsfähigkeit bei immer kleiner werdenden Anlagen an ihre Grenzen.

Bild: Balluff GmbHBild: Balluff GmbH
Der Mapping-Sensor im Greifer erkennt präzise die Position stark reflektierender Wafer und damit volle Slots, doppelte Wafer oder Wafer in Schieflage.

Neue Maßstäbe sollen hier die Micromote-Sensoren von Balluff setzen, die kleine Sensorköpfe mit einer externen Auswerteeinheit kombinieren und über ein hochflexibles elektrisches Kabel miteinander verbinden.

Bild: Balluff GmbHBild: Balluff GmbH
Die robusten Sensoren werden mit einem seperaten Verstärker betrieben, der außerhalb des Geschehens platziert werden kann.

Eingesetzt werden diese beispielsweise beim Wafer-Mapping. Hier sind optoelektronische Sensoren von hoher Präzision gefragt, die sich passgenau in die zum Teil äußerst dünnen Endeffektoren integrieren lassen. Die kompakten Sensoren mit Abmessungen von 2,4x1,5x7mm verfügen über einen kontrollierten und fokussierten Lichtspot, mit dem sie sicher auch die Kanten der nur wenige m-dicken Wafer und damit auch volle Slots, doppelte Wafer oder Wafer in Schieflage erkennen können. Dank eines modularen Baukastensystems lassen sich die Sensorköpfe mit einer Reichweite von bis zu 800mm leicht an solche spezifischen mechanischen Einbausituationen anpassen. Die Anwendung auf kleinstem Raum wird duch miniaturisierte LEDs, Fotodioden und Fototransistoren ermöglicht. Für ihre Produktion wurde eigens ein patentiertes Herstellungsverfahren entwickelt, das die optische Präzision der mikrooptischen Komponenten gewährleisten soll. Weiter ermöglicht ein Baukastensystems dem Anwendern, für eine Vielzahl von Applikation die passende Lösung zu finden. Dabei kann es sich um die Positionserfassung von Kleinteilen, das Erkennen und Zählen von Objekten oder die Füllstanderfassung von schäumenden Flüssigkeiten handeln. Auch kundenspezifische Lösungen können sich schnell und flexibel realisieren lassen.

Balluff GmbH

Dieser Artikel erschien in SPS-MAGAZIN 1 Januar Februar 2020 - 10.02.20.
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