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SWIR-Erfolgswelle

TITELSTORY: Industrielle SWIR-Kameras mit optimierten InGaAs-Sensoren

New Imaging Technologies (NIT) wurde 2007 mit dem Ziel gegründet, Industriekameras auf Basis patentierter Sensoren mit hohem Dynamikbereich zu entwickeln und zu produzieren. Innerhalb weniger Jahre hat sich die Firma zu einem führenden Hersteller von SWIR-Kameras mit eigenem Sensordesign entwickelt.

Bild: Rauscher GmbHBild: Rauscher GmbH

Die Anfänge von NIT lagen bei CMOS-Bildsensoren und -Kameras für den sichtbaren Bereich (400 bis 750nm). Das Unternehmen wandte sich jedoch schon bald dem kurzwelligen Infrarotbereich (SWIR) zu.

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SWIR deckt je nach Definition Wellenlängen von 900 bis 2.500nm ab. Dieses Spektrum kann zum großen Teil mit InGaAs-Sensoren (Indium Gallium Arsenid) detektiert werden, die typischerweise eine Lichtempfindlichkeit für Wellenlängen zwischen 900 und 1.700nm aufweisen. Das Halbleitermaterial InGaAs besteht aus einer InAs/GaAs-Legierung, die als aktive Schicht in InGaAs-Sensoren dient und dabei auf einem Substrat aus Indiumphosphid (InP) aufsetzt. Eine dünne InP-Passivierungsschicht schließt den prinzipiellen Aufbau des Sensors ab. Das dotierte Substrat und die InGaAs-Schicht ergeben ein Photodiodenarray (PDA), das lichtempfindlich für SWIR-Wellenlängen zwischen 900 und 1.700nm ist. Über ein spezielles Indium-Bonding wird das PDA mit einem CMOS-ROIC (ReadOut Integrated Circuit) verbunden, um die detektieren Ladungen in Spannungen umzuwandeln, die A/D-Wandlung durchzuführen und die Übertragung der Sensordaten zu ermöglichen.

Rauscher GmbH

Dieser Artikel erschien in inVISION 4 (September) 2021 - 17.09.21.
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