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Inline-Weißlichtinterferometer

Bild: HeliotisBild: Heliotis

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Für Anwendungen mit Wiederholgenauigkeiten im Sub-µm-Bereich hat Heliotis für seine HeliInspect Weißlichtinterferometer H8M und H9M einen CMOS-Bildsensor entwickelt, bei dem die Signalverarbeitung in jedem Pixel integriert ist. Die Geräte mit einer Höhenauflösung im nm-Bereich sind praktisch für alle Oberflächen und Materialien einsetzbar.

heliotis

Dieser Artikel erschien in inVISION 1 (März) 2023 - 09.03.23.
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